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本文件规定了应用电子探针显微分析仪或者安装在扫描电镜(SEM)的波谱仪(WDS),通过电子束与试样相互作用产生的X射线对试样微米尺度体积内的元素进行定量分析的要求。
本文件还包括如下内容:
——定量分析原理;
——本方法涉及的元素、质量分数和标准物质的一般范围;
——仪器的一般要求;
——有关试样制备、实验条件选择、分析测量和报告等基本过程。
本文件适用于电子束垂直入射到表面平滑、均匀的块状试样的定量分析。对仪器和数据处理软件没有特殊的要求。使用者宜从仪器制造厂家获得仪器安装条件、详细的操作程序及仪器规格等信息。