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本标准适用于X射线光电子能谱仪的操作者分析典型样品。本标准帮助操作者完成整个分析过程，包括样品处理，谱仪校准和设定以及宽扫描谱和窄扫描谱的采集,并给出了定量和准备最终报告的建议。
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本标准规定了进行电子探针分析时的入射电子束、波谱仪和试样的实验参数测定的一般原则，并规定了束流、束流密度、死时间、波长分辨率、背底、分析面积、分析深度和分析体积的测定过程。
本标准适用于垂直入射电子束对抛光试样的分析，对于其他实验条件，这些实验参数只能作为参考。
本标准不适用于能谱法。
本标准规定了俄歇电子谱仪动能标不确定度为3 eV时的校准方法，用于识别表面常规元素。另外，还规定一种用于确定校准周期的方法。本标准适用于直接模式或微分模式的仪器分辨率小于等于0.5%，微分模式调制幅度的峰峰值为2 eV。本标准适用于配有惰性气体离子枪或其他样品清洁方法，具有4 keV或更高束能电子枪的谱仪。
本标准规定了SDS中16个部分内容的编写细则、SDS的格式、SDS的书写要求和计量单位要求。
本标准适用于SDS的编制。
本标准规定了俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率、分析面积和分析器所能检测到的样品面积的测量方法。
本标准适用于俄歇电子能谱和X射线光电子能谱横向分辨率、分析面积和分析器的检测。
本标准规定了溅射深度剖析中测量溅射深度的准则。
本标准适用于结合离子轰击剥离部分固体样品的表面化学分析技术，通常溅射深度可达几微米。
针对于常规分析使用的电子枪能量至少为2 keV的俄歇电子能谱仪，本标准规定了一种评估其强度标的重复性和恒定性的方法。它仅适用于配备了溅射清洁用离子枪的仪器。本标准并非旨在成为一种强度/能量响应函数的校准，这种校准可由仪器厂商或者其他机构制定。本方法提供数据以评估和确认仪器使用中强度/能量响应函数保持恒定的精度，对可影响这种恒定性的一些仪器设置给出了指导。
本标准规定了辉光放电原子发射光谱法分析锌和/或铝基合金镀层中镀层厚度、镀层质量(单位面积)和金属镀层中化学成分。需要考虑的合金化元素有镍、铁、硅、铅和锑。
本标准适用的元素质量分数范围:锌(0.01%～100%)，铝(0.01%～100%)，镍(0.01%～20%)，铁(0.01%～20%)，硅(0.01%～10%)，铅(0.005%～2%)，锑(0.005%～2%)。
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