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本文件规定了纳米几何量标准样板测试方法的分类及原理、测试设备、测试环境、测试程序及测试数据处理。本文件适用于线间隔为50 nm~100 nm的纳米线间隔标准样板、线宽为20 nm~100 nm的纳米线宽标准样板、台阶高度为10 nm~100 nm的纳米台阶高度标准样板和薄膜厚度为2 nm~100 nm的纳米膜厚标准样板的测试。
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本文件规定了奇数沟千分尺的型式与基本参数、通则、检验方法、标志与包装。本文件适用于分度值为0.001 mm、0.002 mm、0.01 mm，测量上限不大于100 mm的奇数沟千分尺的设计、制造与检验。
本文件规定了两点内径千分尺（包括接杆式内径千分尺及单杆式内径千分尺)的型式与基本参数﹑通则﹑检验条件、检验方法以及标志与包装。本文件适用于分度值为0.01 mm、0.001 mm、0.002 mm、0.005 mm，测微螺杆螺距为0.5 mm或1.0 mm,测量上限不大于6 000 mm的接杆式内径千分尺及单杆式内径千分尺（不包括电子数显内径千分尺)的设计、制造与检验。
本文件规定了螺纹千分尺（不包括电子数显螺纹千分尺）的型式与基本参数、要求、检查条件、检验方法、标志与包装。
本文件适用于分度值为0.01 mm、0.001 mm、0.002 mm，测量范围小于或等于300 mm的螺纹千分尺（不包括电子数显螺纹千分尺）的设计、制造和检验。
本文件规定了内径指示表的型式与基本参数、要求、检验条件、检验方法和标志与包装。本文件适用于分度值或分辨力为0.01 mm、0.001 mm，测量范围为6 mm～1 000 mm的指针和数显读数的内径指示表的设计、制造与检验。
本文件规定了高度卡尺（带有机械或数字显示）最重要的设计和计量特性。
本文件规定了电子数显指示表最重要的设计和计量特性。
本文件提出的《测量不确定度表示指南》（以下简称GUM）概念实施指南，适用于工业界对GPS领域内的测量标准和测量设备的校准以及工件GPS特性的测量。其目的是提供完成不确定度报告所需的全部信息，并为测得结果及其不确定度的比较（顾客与供方之间的关系）提供依据。
本文件的目的是支撑ISO 14253-1。本文件与ISO 14253-1均有利于公司内部所有技术职能部门对GPS规范（即工件特性的公差和测量设备计量特性的最大允许误差MPEs值）的解释。
本文件介绍的不确定度管理程序（Procedure for Uncertainty M Anagement—PUMA），是一个以GUM为基础，在不改变GUM基本概念的情况下评估测量不确定度的实用迭代程序。一般在下述情况用于评估测量不确定度和提供不确定度说明：
——单个测得结果；
——两个或多个测得结果的比较；
——将一个（或多个）工件或一个（或多个）测量设备得到的测得结果与给定规范（也就是测量仪器或测量标准的计量特性最大允许误差MPEs，或工件特性的公差限等）进行比较，按规范验证是否合格。
迭代法总体而言是建立在上限评估策略基础上的，即在不确定度评估的各阶段高估其不确定度，迭代次数控制高估的量。为防止基于测得结果做出的错误判定，有意识的高估而不是低估是必要的。高估的量还受测量项目的经济评估限制。
迭代法在公司的计量活动中是实现利益最大化和成本最小化的一种方法。迭代法既是一个在经济上进行自我调节的方法，也是一个为降低计量（制造）中的成本而改变或减小测量中现有不确定度的方法。迭代法使不确定度评估和不确定度概算中的风险、工作量和成本之间的协调成为可能。
本文件提供了有关测量不确定度表述达成共识的方法指南和相应的程序，帮助顾客、供方解决在依据ISO 14253-1进行合格判定时因不确定度表述带来的争议问题，从而避免耗时且成本高昂的争论。
本文件界定了GPS提取的基本术语，规定了GPS提取中使用的基本操作框架及采样和重构的概念，同时规定了几种基本几何体的主要采样方案。
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