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 国外标准 （0）
全部 ANSI 美国国家标准学会( 0 ) API 美国石油学会( 0 ) AS 澳大利亚标准( 0 ) ASME 美国机械工程协会( 0 ) ASTM 美国材料与试验协会标准( 0 ) BS 英国标准( 0 ) BSI 英国BSI标准( 0 ) CFR 美国联邦法规( 0 ) CSA 加拿大标准( 0 ) DE 德国标准( 0 ) DIN 德国DIN标准( 0 ) EN 欧洲标准( 0 ) FR 法国标准( 0 ) IEEE 美国电气电子工程师协会( 0 ) JP 日本标准( 0 ) JSA 日本JIS标准( 0 ) KS 韩国标准( 0 ) MIL 美国军用标准( 0 ) SAE 美国机动车工程师学会( 0 ) SU 俄罗斯GOST标准( 0 ) UL 美国保险商试验室( 0 ) UNI 意大利标准( 0 )

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GB/T 28276-2012 硅基MEMS制造技术　体硅溶片工艺规范 现行 发布日期 :  2012-05-11 实施日期 :  2012-12-01

本标准规定了采用体硅溶片加工工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和工艺评价规范。
本标准适用于体硅溶片工艺的加工和质量检验。

   电子版：31元 / 折扣价： 27 元  纸质版：31元 / 折扣价： 27 元

GB/T 28277-2012 硅基MEMS制造技术　微键合区剪切和拉压强度检测方法 现行 发布日期 :  2012-05-11 实施日期 :  2012-12-01

本标准规定了硅基MEMS加工过程中所涉及的微小键合区域键合强度检测的要求和试验方法。
本标准适用于采用微电子工艺及相关微细加工技术制造的微小键合区的剪切和拉压强度测试。

   电子版：43元 / 折扣价： 37 元  纸质版：43元 / 折扣价： 37 元

GB/T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术　术语 被代替 发布日期 :  2011-01-10 实施日期 :  2011-10-01

本标准规定了微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和定义。
本标准适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。

   电子版：65元 / 折扣价： 56 元  纸质版：65元 / 折扣价： 56 元

GB/T 26112-2010 微机电系统(MEMS)技术　微机械量评定总则 现行 发布日期 :  2011-01-10 实施日期 :  2011-10-01

本标准规定了微机械量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。
本标准适用于企业、研究机构、检测机构从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测及使用。

   电子版：31元 / 折扣价： 27 元  纸质版：31元 / 折扣价： 27 元

GB/T 26113-2010 微机电系统(MEMS)技术　微几何量评定总则 现行 发布日期 :  2011-01-10 实施日期 :  2011-10-01

本标准规定了微几何量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。
本标准适用于企业、研究机构、检测机构等从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测。

   电子版：31元 / 折扣价： 27 元  纸质版：31元 / 折扣价： 27 元

GB/T 26113-2010e 微机电系统(MEMS)技术微几何量评定总则 现行 发布日期 :  2011-01-10 实施日期 :  2011-10-01

   电子版：216元 / 折扣价： 184 元  纸质版：216元 / 折扣价： 184 元

GB/T 20296-2006 集成电路记忆法与符号 被代替 发布日期 :  2006-07-13 实施日期 :  2007-01-01

   电子版：54元 / 折扣价： 46 元  纸质版：54元 / 折扣价： 46 元

GB/T 19248-2003 封装引线电阻测试方法 现行 发布日期 :  2003-07-02 实施日期 :  2003-10-01

   电子版：24元 / 折扣价： 21 元  纸质版：24元 / 折扣价： 21 元

GB/T 17574-1998 半导体器件　集成电路　第2部分：数字集成电路 现行 发布日期 :  1998-11-17 实施日期 :  1999-06-01

   电子版：176元 / 折扣价： 150 元  纸质版：176元 / 折扣价： 150 元

GB/T 17023-1997 半导体器件　集成电路　第2部分：数字集成电路　第二篇HCMOS数字集成电路54/74HC、54/74HCT、54/74HCU系列族规范 现行 发布日期 :  1997-10-07 实施日期 :  1998-09-01

   电子版：43元 / 折扣价： 37 元  纸质版：43元 / 折扣价： 37 元

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