购买标准后,可去我的标准下载或阅读
本文件规定了晶片承载器自动传送并行输入/输出接口的信号定义、信号传送要求、异常处理,以及连接器和传感器的要求。
本文件适用于半导体制造领域、用于晶片承载器往返于主动型设备和被动型设备之间的自动传送操作。
本文件规定了300 mm 晶圆半导体设备装载端口的尺寸要求,主要包括半导体设备与产线之间的物理接口。
本文件适用于半导体设备设计与制造领域。
本文件规定了用能单位能耗在线监测系统能源品种与采集项和能源数据采集要求。
本文件适用于用能单位能耗在线监测系统设计、开发、运行、验收和各能源种类相关数据的采集。