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本文件规定了高纯不透明石英玻璃的分级,要求,试验方法,检验规则,标志、包装、运输和贮存。本文件适用于半导体、光伏等领域具有隔热作用的高纯不透明石英玻璃材料。
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本标准规定了石英玻璃中羟基含量检验的术语和定义、试验原理、试验仪器、试样要求、试验步骤、结果计算方法与表示、检验报告。
本标准适用于石英玻璃中羟基含量的检验。
本标准规定了光刻用石英玻璃晶圆（以下简称石英玻璃晶圆)的术语和定义、分类、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统（MEMS)、光电器件和发光二极管（LED)等光刻工艺中用做衬底的石英玻璃晶圆。
本标准规定了光掩模石英玻璃基板（以下简称石英玻璃基板)的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统（MEMS)、光电器件和发光二级管（LED)等光刻工艺中光掩模石英玻璃基板。
本标准规定了光纤拉丝用石英玻璃把持管（以下简称石英把持管）的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于光纤拉丝过程中，用来作为把持、支撑或延长作用的石英玻璃管。
本标准规定了球形二氧化硅微粉的术语和定义、分类与标记、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于电子及电器工业中电子封装料填料、覆铜板填充料等用球形二氧化硅微粉，其他用途球形二氧化硅微粉可参照本标准。
本标准规定了石英玻璃化学成分分析的试验基本要求、试样制备、方法提要和原理、试剂和材料、仪器和设备、分析步骤、结果计算和表示。本标准适用于石英玻璃原料、石英玻璃及制品、石英玻璃纤维及制品的化学成分分析。
本标准规定了石英玻璃热变色性试验的原理、仪器与材料、样品要求、试验步骤、结果表述和试验报告。
本标准适用于透明石英玻璃管和其他透明石英制品的热变色性的试验。
本标准规定了光纤制造用石英玻璃把持棒的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、储存、运输。
本标准适用于光纤制造过程中所使用的起到把持或支撑作用的石英玻璃棒。
本标准规定了透明石英玻璃气泡、气线试验的仪器与材料、样品要求、试验步骤、结果处理和试验报告。
本标准适用于透明石英玻璃气泡、气线的试验。对于有外形轮廓缺陷的（如析晶、色斑、暗疤、结石等）也可参照本标准。
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