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本标准规定了石英玻璃热稳定性试验的两种试验方法:水冷却法(A法);空气冷却法(B法)。 本标准适用于除不透明石英玻璃砖以外各种石英玻璃及其制品热稳定性的试验。
本文件规定了光伏单晶硅生长用石英坩埚高纯内层砂的要求、检验规则及标志、包装、运输和贮存,描述了相应的试验方法。
本文件适用于光伏单晶硅生长用石英坩埚生产时内层用高纯石英砂(以下简称“石英砂”)的生产、检验、交付和验收,包括以天然石英矿石或水晶等为原料,通过加工、提纯等生产工艺制备的天然石英砂,以及以高纯含硅物质为原料,采用物理、化学方法制备的合成石英砂。
本文件规定了光刻用掺钛石英玻璃(以下简称掺钛石英玻璃)的要求、检验规则以及标志、包装、运输和贮存,描述了相应的试验方法。
本文件适用于半导体集成电路光刻反射光学系统用掺钛石英玻璃的生产、检验、交付和验收。