GB/T 24578-2024 半导体晶片表面金属沾污的测定　全反射X射线荧光光谱法标准列表

已选分类：

筛选
全部有电子文本无电子文本
有效性
全部现行即将实施被代替废止废止转行标
发布日期
全部

您的位置: 专文标准查询网>> 全部标准分类清除分类

全部标准分类

国家标准（0）

全部 A 综合( 0 ) B 农业、林业( 0 ) C 医药、卫生、劳动保护( 0 ) D 矿业( 0 ) E 石油( 0 ) F 能源、核技术( 0 ) G 化工( 0 ) H 冶金( 0 ) J 机械( 0 ) K 电工( 0 ) L 电子元器件与信息技术( 0 ) M 通信、广播( 0 ) N 仪器、仪表( 0 ) P 工程建设( 0 ) Q 建材( 0 ) R 公路、水路运输( 0 ) S 铁路( 0 ) T 车辆( 0 ) U 船舶( 0 ) V 航空、航天( 0 ) W 纺织( 0 ) X 食品( 0 ) Y 轻工、文化与生活用品( 0 ) Z 环境保护( 0 )

行业标准（0）

全部 AQ 安全生产( 0 ) BB 包装( 0 ) CB 船舶( 0 ) CH 测绘( 0 ) CJ 城镇建设( 0 ) CM 国密( 0 ) CY 新闻出版( 0 ) DA 档案( 0 ) DB 地震( 0 ) DL 电力( 0 ) DZ 地质矿产( 0 ) EJ 核工业( 0 ) FZ 纺织( 0 ) GA 公共安全( 0 ) GBZ 职业卫生( 0 ) GC 物资储备( 0 ) GH 供销( 0 ) GM 密码( 0 ) GY 广播电影电视( 0 ) HB 航空( 0 ) HG 化工( 0 ) HJ 环境保护( 0 ) HS 海关( 0 ) HY 海洋( 0 ) JB 机械( 0 ) JC 建材( 0 ) JG 建筑工业( 0 ) JR 金融( 0 ) JT 交通( 0 ) JY 教育( 0 ) LB 旅游( 0 ) LD 劳动和劳动安全( 0 ) LS 粮食( 0 ) LY 林业( 0 ) MH 民用航空( 0 ) MT 煤炭( 0 ) MZ 民政( 0 ) NB 能源( 0 ) NY 农业( 0 ) QB 轻工( 0 ) QC 汽车( 0 ) QJ 航天( 0 ) QTE 行业标准英文版( 0 ) QX 气象( 0 ) RB 认证认可标准( 0 ) SB 商业( 0 ) SC 水产( 0 ) SF 司法( 0 ) SH 石油化工( 0 ) SJ 电子( 0 ) SL 水利( 0 ) SN 商检( 0 ) SW 税务( 0 ) SY 石油天然气( 0 ) TB 铁路运输( 0 ) TD 土地管理( 0 ) TY 体育( 0 ) WB 物资管理( 0 ) WH 文化( 0 ) WJ 兵工民品( 0 ) WM 外经贸( 0 ) WS 卫生( 0 ) WW 文物( 0 ) XB 稀土( 0 ) YB 黑色冶金( 0 ) YC 烟草( 0 ) YD 通信( 0 ) YS 有色冶金( 0 ) YY 医药( 0 ) YZ 邮政( 0 ) ZY 中医药( 0 )

国际标准（0）

全部 01 综合、术语学、标准化、文献( 0 ) 03 社会学、服务、公司(企业)的组织和管理、行政、运输( 0 ) 07 自然和应用科学( 0 ) 11 医药卫生技术( 0 ) 13 环保、保健和安全( 0 ) 17 计量学和测量、物理现象( 0 ) 19 试验［该类仅包括试验通用标准;分析化学,见71.040］( 0 ) 21 机械系统和通用件( 0 ) 23 流体系统和通用件［流体流量的测量,见17.120］( 0 ) 25 机械制造［该类包括通用标准］( 0 ) 27 能源和热传导工程( 0 ) 29 电气工程( 0 ) 31 电子学( 0 ) 33 电信、音频和视频工程( 0 ) 35 信息技术( 0 ) 37 成像技术( 0 ) 39 精密机械、珠宝( 0 ) 43 道路车辆工程( 0 ) 45 铁路工程( 0 ) 47 造船和海上构筑物( 0 ) 49 航空器和航天器工程( 0 ) 53 材料储运设备( 0 ) 55 货物的包装和调运( 0 ) 59 纺织和皮革技术( 0 ) 61 服装工业( 0 ) 65 农业( 0 ) 67 食品技术( 0 ) 71 化工技术( 0 ) 73 采矿和矿产品( 0 ) 75 石油天然气及相关技术( 0 ) 77 冶金( 0 ) 79 木材技术( 0 ) 81 玻璃和陶瓷工业( 0 ) 83 橡胶和塑料工业［其他高分子材料入此］( 0 ) 85 造纸技术( 0 ) 87 涂料和颜料工业( 0 ) 91 建筑材料和建筑物( 0 ) 93 土木工程( 0 ) 95 军事物资、军事工程、武器( 0 ) 97 家用和商用设备、文娱、体育( 0 ) 99 (无标题)［该类保留出,作为内部其他用途］( 0 )

国外标准（0）

全部 ANSI 美国国家标准学会( 0 ) API 美国石油学会( 0 ) AS 澳大利亚标准( 0 ) ASME 美国机械工程协会( 0 ) ASTM 美国材料与试验协会标准( 0 ) BS 英国标准( 0 ) BSI 英国BSI标准( 0 ) CFR 美国联邦法规( 0 ) CSA 加拿大标准( 0 ) DE 德国标准( 0 ) DIN 德国DIN标准( 0 ) EN 欧洲标准( 0 ) FR 法国标准( 0 ) IEEE 美国电气电子工程师协会( 0 ) JP 日本标准( 0 ) JSA 日本JIS标准( 0 ) KS 韩国标准( 0 ) MIL 美国军用标准( 0 ) SAE 美国机动车工程师学会( 0 ) SU 俄罗斯GOST标准( 0 ) UL 美国保险商试验室( 0 ) UNI 意大利标准( 0 )

计量规程规范（0）

全部 JJF 技术规范( 0 ) JJFFZ 技术规范(纺织)( 0 ) JJFSH 计量技术规范JJF(石化)( 0 ) JJFYC 计量技术规程JJF(烟草)( 0 ) JJG 检定规程( 0 ) JJGD 地方计量检定规程( 0 ) JJGYC 计量检定规程JJG(烟草)( 0 )

团体标准（0）

全部 TC 团体标准( 0 ) TCE 团体标准英文版( 0 )

地方标准（0）

全部 DB11 北京市地方标准( 0 ) DB12 天津市地方标准( 0 ) DB13 河北省地方标准( 0 ) DB14 山西省地方标准( 0 ) DB15 内蒙古自治区地方标准( 0 ) DB21 辽宁省地方标准( 0 ) DB22 吉林省地方标准( 0 ) DB23 黑龙江省地方标准( 0 ) DB31 上海市地方标准( 0 ) DB32 江苏省地方标准( 0 ) DB33 浙江省地方标准( 0 ) DB34 安徽省地方标准( 0 ) DB35 福建省地方标准( 0 ) DB36 江西省地方标准( 0 ) DB37 山东省地方标准( 0 ) DB41 河南省地方标准( 0 ) DB42 湖北省地方标准( 0 ) DB43 湖南省地方标准( 0 ) DB44 广东省地方标准( 0 ) DB45 广西壮族自治区地方标准( 0 ) DB46 海南省地方标准( 0 ) DB50 重庆市地方标准( 0 ) DB51 四川省地方标准( 0 ) DB52 贵州省地方标准( 0 ) DB53 云南省地方标准( 0 ) DB54 西藏自治区地方标准( 0 ) DB61 陕西省地方标准( 0 ) DB62 甘肃省地方标准( 0 ) DB63 青海省地方标准( 0 ) DB64 宁夏回族自治区地方标准( 0 ) DB65 新疆维吾尔自治区地方标准( 0 )

企业标准（0）

全部 QYBZ 企业标准( 0 )

购买标准后，可去我的标准下载或阅读

GB/T 24578-2024 半导体晶片表面金属沾污的测定　全反射X射线荧光光谱法现行 发布日期 : 1970-01-01 实施日期 : 2025-02-01

本文件描述了半导体镜面晶片表面深度为5 nm以内金属元素的全反射X射线荧光光谱（TXRF）测试方法。
本文件适用于硅、绝缘衬底上的硅（SOI）、锗、碳化硅、蓝宝石、砷化镓、磷化铟、锑化镓等单晶抛光片或外延片表面金属沾污的测定，尤其适用于晶片清洗后自然氧化层或经化学方法生长的氧化层中沾污元素面密度的测定，测定范围：109 atoms/cm2～1 015 atoms/cm2。
本文件规定的方法能够检测周期表中原子序数16（S）～92（U）的元素，尤其适用于钾、钙、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、砷、钼、钯、银、锡、钽、钨、铂、金、汞和铅等金属元素。

电子版：38元 / 折扣价： 33 元纸质版：38元 / 折扣价： 33 元