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GB/T 26111-2023 微机电系统(MEMS)技术 术语 现行 发布日期 :  2023-05-23 实施日期 :  2023-09-01

本文件界定了微机电系统器件及其生产工艺相关的术语和定义。本文件适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。

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GB/T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术 术语 被代替 发布日期 :  2011-01-10 实施日期 :  2011-10-01

本标准规定了微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和定义。
本标准适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。

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