【国家标准】 半导体器件　功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据　第3部分：缺陷的光致发光检测方法

标准号：

GB/T 43493.3-2023

标准名称：

半导体器件　功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据　第3部分：缺陷的光致发光检测方法

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