【团体标准】集成电路晶圆厂用天车传送系统通用技术要求

本网站发布时间： 2024-06-12

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标准简介

本标准主要技术内容包括集成电路晶圆厂用天车传送系统的术语和定义、缩略语、技术要求、环境要求、安全要求、标志、包装、运输和贮存、交付要求。

标准号：
T/SICA 006-2024
标准名称：
集成电路晶圆厂用天车传送系统通用技术要求
英文名称：
General technical requirements for overhead hoist transfer system used in integrated circuit wafer factory
标准状态：
现行
发布日期：
2024-06-07
实施日期：
2024-07-07
出版语种：

起草人：
缪峰李宏伟张奕人陈力钧桂纯钦张正敏江志豪邱晓凯吴茹茹宋闫岩石建宾刘威吕志鹏胡锦敏吴炳男杨海军张鑫昕肖柯刘国华
起草单位：
弥费科技（上海）股份有限公司、上海市集成电路行业协会、上海华力集成电路制造有限公司、上海市质量和标准化研究院、广东芯粤能半导体有限公司、北京燕东微电子科技有限公司、重庆前卫无线电能传输研究院有限公司、武汉大学、华中科技大学、深圳赫兹创新技术有限公司、欧姆龙自动化（中国）有限公司、合肥欣奕华智能机器股份有限公司、成川科技（苏州）有限公司、上扬软件（上海）有限公司、荣耀半导体材料（嘉善）有限公司
归口单位：
上海市集成电路行业协会
提出部门：
上海市集成电路行业协会
发布部门：
上海市集成电路行业协会

T/SICA 006-2024