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- GB/T 44928-2024 微电子学微光刻技术术语

【国家标准】 微电子学微光刻技术术语
本网站 发布时间:
- GB/T 44928-2024
- 现行
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适用范围:
本文件界定了微电子学微光刻技术有关的微电子光刻技术,先进光刻技术,微光刻图形化和图形数据处理技术,微光刻感光材料、铬板与基板材料,光掩模技术,光刻工艺(曝光、刻蚀与微纳米加工)技术,电子束掩模制造与直写技术,光刻及掩模质量参数测量和评定,掩模制造设备和微光刻设备等术语和定义。
本文件适用于微电子学微光刻技术领域的教学、科研、生产、应用、贸易和技术交流。
本文件适用于微电子学微光刻技术领域的教学、科研、生产、应用、贸易和技术交流。
标准号:
GB/T 44928-2024
标准名称:
微电子学微光刻技术术语
英文名称:
Terms of microlithography technology for microelectronics标准状态:
现行-
发布日期:
-
实施日期:
2024-12-31 出版语种:
中文简体
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