【国家标准】 微束分析　电子探针显微分析仪(EPMA) 　质量保证程序实施导则

本文件提供了对电子探针显微分析仪（EPMA）进行常规诊断和实施质量保证程序的指南。仪器操作者定期使用该程序，确认仪器状态正常，或进行故障排查。它涵盖了所需参考物质的特性以及独立检测和全面评估EPMA系统主要组件性能所需的分析程序。
本文件所述分析程序旨在验证仪器对未知样品进行探索性分析、痕量分析和非常规工作（例如峰干扰）的能力，有别于仅用于衍射晶体位置和测试条件检验等单元素快速诊断程序。
本文件适用于电子探针和其他波谱仪（WDS）系统，该系统通过WDS检测到的特征 X 射线谱线进行波长和强度分析实现元素识别和定量分析。本文件不适用于能谱仪（EDS）进行的元素分析。