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- GB/T 42676-2023 半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法

【国家标准】 半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法
本网站 发布时间:
2024-03-01
- GB/T 42676-2023
- 现行
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适用范围:
本文件描述了利用X射线衍射仪测试半导体材料双晶摇摆曲线半高宽,进而评价半导体单晶晶体质量的方法。本文件适用于碳化硅、金刚石、氧化镓等单晶材料晶体质量的测试,硅、砷化镓、磷化铟等半导体材料晶体质量的测试也可参照本文件执行。
标准号:
GB/T 42676-2023
标准名称:
半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法
英文名称:
Test method for crystalline quality of semiconductive single crystal—X-ray diffraction method标准状态:
现行-
发布日期:
2023-08-06 -
实施日期:
2024-03-01 出版语种:
中文简体
起草人:
何烜坤 刘立娜 李素青 庞越 马春喜 许蓉 任殿胜 王元立 朱晓彤 李向宇 杨阳 潘金平 王书明 赵松彬 林泉 李国平 张新峰 赵丽丽 夏秋良起草单位:
中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司、 北京通美晶体技术股份有限公司、山东有研半导体材料有限公司、弘元新材料(包头)有限公司、哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、国标(北京)检验认证有限公司、丹东新东方晶体仪器有限公司、有研国晶辉新材料有限公司、江苏卓远半导体有限公司、新美光(苏州)半导体科技有限公司归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)提出部门:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)发布部门:
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
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