【国家标准】 硅片表面薄膜厚度的测试　光学反射法

标准号：

GB/T 40279-2021

标准名称：

硅片表面薄膜厚度的测试　光学反射法

英文名称：

标准状态：

发布日期：

实施日期：

出版语种：

标准ICS号：

中标分类号：

替代以下标准：

被以下标准替代：

引用标准：

采用标准：

页数：

字数：

开本：

起草人：

起草单位：

归口单位：

提出部门：

发布部门：