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- GB/T 36705-2018 氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法

【国家标准】 氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法
本网站 发布时间:
2019-06-03
- GB/T 36705-2018
- 现行
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适用范围:
本标准规定了利用拉曼光谱测试N型氮化镓衬底片载流子浓度的方法。本标准适用于在蓝宝石、碳化硅、硅、氮化镓材料上生长的N型氮化镓衬底片载流子浓度的测试。测试范围:1×1017 cm-3~1×1020 cm-3。
标准号:
GB/T 36705-2018
标准名称:
氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法
英文名称:
Test method for carrier concentration of gallium nitride substrates—Raman spectrum method标准状态:
现行-
发布日期:
2018-09-17 -
实施日期:
2019-06-01 出版语种:
中文简体
起草人:
郑树楠 张育民 石林 邱永鑫 王建峰 徐科 付雪涛 杨素心 丁晓民 陆敏 杨建起草单位:
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、有色金属技术经济研究院、东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院归口单位:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)提出部门:
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)发布部门:
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
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